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ので，クリーンびアウトガスをするにし. ている。 （2）. びにモリブデン，，など. のやのをスパッタリング. やイオンプレーティングでしたもので，，. のでのにしている。 それぞれのびを1にす。 ウルトラクリーン.
lean bearings. Company A clean bearings. 1）Part No. ：608. 2）Axial load. ：10N. 3）Rotational speed ：50min−1. 4）Vacuum level. ：10−5Pa. 1. Low particle generation, corrosion resistance. 2. Low torque. 3. Can be used in high temperature and high vacuum conditions. 4. Long life. ¡Ex.) part No. MT2−SEB08J1ZZ1C3／0G.
2）アキシアル：10N. 3）. ：2500min−1. 4）／（10−4Pa）. ¡. ¡：HD. 1），せい. 2）・で. 3）ウルトラクリーンより. ¡び. MT2−5PT−SEB08J1ZZ1C3／0G. ¡. 〜300℃. キャリア. パレット. . 8キャリア／1パレット. 2／キャリア